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NISTEP注目科学技術 - 2022_E154

酸化物半導体によるパワーデバイスの実用化。
酸化ガリウムの100 mmエピウエハーが開発されたことで、GaNやSiCをコストパフォーマンスで凌ぐパワーデバイスの市場投入が期待できる。

基礎研究から応用研究に本格的に移行し、量産化の研究開発段階になっていると見られる。
デバイスの試作は既に完了しており、あとはウェハサイズの大口径化と欠陥の低減を推進している状態であると推察している。

酸化物系デバイスのキラー欠陥低減とウェハ大口径化の技術革新。
またさらなる進展のためにはp型半導体（酸化ガリウム半導体もしくは異なる材料）との接合も重要となってくる。
大口径化の道筋は見えているが、p型化は依然として困難な課題である。