NISTEP注目科学技術 - 2022_E14
概要
次世代パワーデバイス向け新規材料の結晶成長技術・デバイス作製プロセス技術
キーワード
パワーデバイス / 酸化ガリウム / Ga2O3
| ID | 2022_E14 |
|---|---|
| 調査回 | 2022 |
| 注目/兆し | 注目 |
| 所属機関 | 大学 |
| 専門分野 | ナノテクノロジー・材料 |
| 専門度 | 高 |
| 実現時期 | 10年以降 |
| 分析データ 推定科研費審査区分（中区分） | 21 （電気電子工学） |
| 分析データ クラスタ | 27 （理化学/半導体・ナノ・材料） |
研究段階
単純な構造のデバイスについては、研究室レベルでは良好な特性を示している。
結晶成長技術、ウェハの大面積化、低コスト化、伝導性制御、界面制御については、まだ大きな課題がある。
結晶成長技術、ウェハの大面積化、低コスト化、伝導性制御、界面制御については、まだ大きな課題がある。
インパクト
2022年調査にはこの項目はありません。
必要な要素
結晶成長技術、ウェハの大面積化、低コスト化、伝導性制御、界面制御については、まだ大きな課題がある。