NISTEP注目科学技術 - 2022_E297
概要
Ga2O3の6インチウェハの作製が可能になったこと。
キーワード
Ga2O3 / 大面積 / パワーデバイス
| ID | 2022_E297 |
|---|---|
| 調査回 | 2022 |
| 注目/兆し | 注目 |
| 所属機関 | 大学 |
| 専門分野 | エネルギー |
| 専門度 | 中 |
| 実現時期 | 5年未満 |
| 分析データ 推定科研費審査区分（中区分） | 21 （電気電子工学） |
| 分析データ クラスタ | 27 （理化学/半導体・ナノ・材料） |
研究段階
詳細は不明であるが、大型ウェハができたことから量産化の可能性も見えてきたと考えています。
インパクト
2022年調査にはこの項目はありません。
必要な要素
熱に弱いことから、実装したときに耐えられるかどうか、極薄膜にすることで車載したときに振動等で割れないかどうか、信頼性を高める必要があると考えています。