半導体プロセス応用を対象としたデータ駆動プラズマ診断手法の開発
詳細情報
| 科研費研究課題/領域番号 | 24KF0240 [ KAKENで見る ] |
|---|---|
| 種目 | 特別研究員奨励費 |
| 採択年度 | 2024 |
| 代表者氏名 | 吉村 智 |
| 採択時の代表者所属 | 大阪大学 大学院工学研究科 准教授 |
| 代表者の科研費研究者番号 | 40294029 |
| 科研費審査区分（中区分） | 14 （プラズマ学） |
| 分析データ 推定科研費審査区分（中区分） | 14 （プラズマ学） |
| 分析データ クラスタ | 37 （電磁波・光学・レーザー・光半導体） |