高感度・高信頼性ダイヤモンドMEMS腐食性ガスセンサ
詳細情報
| 科研費研究課題/領域番号 | 24KF0085 [ KAKENで見る ] |
|---|---|
| 種目 | 特別研究員奨励費 |
| 採択年度 | 2024 |
| 代表者氏名 | 廖 梅勇 |
| 採択時の代表者所属 | 国立研究開発法人物質・材料研究機構 電子・光機能材料研究センター 主席研究員 |
| 代表者の科研費研究者番号 | 70528950 |
| 科研費審査区分（中区分） | 21 （電気電子工学） |
| 分析データ 推定科研費審査区分（中区分） | 21 （電気電子工学） |
| 分析データ クラスタ | 37 （電磁波・光学・レーザー・光半導体） |