高次高調波2重スリット干渉を用いた極紫外リソグラフィー材料の高効率光学測定
詳細情報
| 科研費研究課題/領域番号 | 24K03199 [ KAKENで見る ] |
|---|---|
| 種目 | 基盤研究(B) |
| 採択年度 | 2024 |
| 代表者氏名 | 石田 行章 |
| 採択時の代表者所属 | 東京大学 大学院理学系研究科(理学部) 特任講師 |
| 代表者の科研費研究者番号 | 30442924 |
| 科研費審査区分（中区分） | 15 （素粒子、原子核、宇宙物理学） |
| 分析データ 推定科研費審査区分（中区分） | 21 （電気電子工学） |
| 分析データ クラスタ | 37 （電磁波・光学・レーザー・光半導体） |