二次元材料アシストエッチングによる半導体表面構造制御
詳細情報
| 科研費研究課題/領域番号 | 24K01179 [ KAKENで見る ] |
|---|---|
| 種目 | 基盤研究(B) |
| 採択年度 | 2024 |
| 代表者氏名 | 宇都宮 徹 |
| 採択時の代表者所属 | 京都大学 工学研究科 助教 |
| 代表者の科研費研究者番号 | 70734979 |
| 科研費審査区分(中区分) | 26 (材料工学) |
| 分析データ 推定科研費審査区分(中区分) | 28 (ナノマイクロ科学) |
| 分析データ クラスタ | 27 (理化学/半導体・ナノ・材料) |