二つの独立ラジカル反応場によるプラズマ窒化経路の比定
詳細情報
| 科研費研究課題/領域番号 | 24K00871 [ KAKENで見る ] |
|---|---|
| 種目 | 基盤研究(B) |
| 採択年度 | 2024 |
| 代表者氏名 | 市來 龍大 |
| 採択時の代表者所属 | 大分大学 理工学部 准教授 |
| 代表者の科研費研究者番号 | 00454439 |
| 科研費審査区分(中区分) | 21 (電気電子工学) |
| 分析データ 推定科研費審査区分(中区分) | 14 (プラズマ学) |
| 分析データ クラスタ | 54 (理化学/分子化学) |
| 科研費研究課題/領域番号 | 24K00871 [ KAKENで見る ] |
|---|---|
| 種目 | 基盤研究(B) |
| 採択年度 | 2024 |
| 代表者氏名 | 市來 龍大 |
| 採択時の代表者所属 | 大分大学 理工学部 准教授 |
| 代表者の科研費研究者番号 | 00454439 |
| 科研費審査区分(中区分) | 21 (電気電子工学) |
| 分析データ 推定科研費審査区分(中区分) | 14 (プラズマ学) |
| 分析データ クラスタ | 54 (理化学/分子化学) |