二つの独立ラジカル反応場によるプラズマ窒化経路の比定

詳細情報

科研費研究課題/領域番号 24K00871 [ KAKENで見る ]
種目 基盤研究(B)
採択年度 2024
代表者氏名 市來 龍大
採択時の代表者所属 大分大学 理工学部 准教授
代表者の科研費研究者番号 00454439
科研費審査区分(中区分) 21 (電気電子工学)
分析データ 推定科研費審査区分(中区分) 14 (プラズマ学)
分析データ クラスタ 54 (理化学/分子化学)