非平衡プラズマ結晶成長技術による超高耐圧窒化アルミニウム系半導体電子素子の創製
詳細情報
| 科研費研究課題/領域番号 | 23K26557 [ KAKENで見る ] |
|---|---|
| 種目 | 基盤研究(B) |
| 採択年度 | 2023 |
| 代表者氏名 | 上野 耕平 |
| 採択時の代表者所属 | 東京大学 生産技術研究所 助教 |
| 代表者の科研費研究者番号 | 90741223 |
| 科研費審査区分（中区分） | 30 （応用物理工学） |
| 分析データ 推定科研費審査区分（中区分） | 21 （電気電子工学） |
| 分析データ クラスタ | 27 （理化学/半導体・ナノ・材料） |