原子層堆積ハイブリッド表面の局所ダイナミクスの解明と3Dヘテロデバイスへの応用
詳細情報
| 科研費研究課題/領域番号 | 23K26388 [ KAKENで見る ] |
|---|---|
| 種目 | 基盤研究(B) |
| 採択年度 | 2023 |
| 代表者氏名 | 井上 史大 |
| 採択時の代表者所属 | 横浜国立大学 大学院工学研究院 准教授 |
| 代表者の科研費研究者番号 | 00908303 |
| 科研費審査区分（中区分） | 26 （材料工学） |
| 分析データ 推定科研費審査区分（中区分） | 18 （材料力学、生産工学、設計工学） |
| 分析データ クラスタ | 27 （理化学/半導体・ナノ・材料） |