ヘリウムイオン顕微鏡を用いた物性制御によるデバイス開発技術の研究
詳細情報
| 科研費研究課題/領域番号 | 23K26152 [ KAKENで見る ] |
|---|---|
| 種目 | 基盤研究(B) |
| 採択年度 | 2023 |
| 代表者氏名 | 浦野 千春 |
| 採択時の代表者所属 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 計量標準総合センター 研究グループ長 |
| 代表者の科研費研究者番号 | 30356589 |
| 科研費審査区分（中区分） | 21 （電気電子工学） |
| 分析データ 推定科研費審査区分（中区分） | 29 （応用物理物性） |
| 分析データ クラスタ | 27 （理化学/半導体・ナノ・材料） |