ナノビームX線回折による半導体デバイスの4次元断層解析
詳細情報
| 科研費研究課題/領域番号 | 23K26141 [ KAKENで見る ] |
|---|---|
| 種目 | 基盤研究(B) |
| 採択年度 | 2023 |
| 代表者氏名 | 林 侑介 |
| 採択時の代表者所属 | 国立研究開発法人物質・材料研究機構 電子・光機能材料研究センター 主任研究員 |
| 代表者の科研費研究者番号 | 00800484 |
| 科研費審査区分（中区分） | 21 （電気電子工学） |
| 分析データ 推定科研費審査区分（中区分） | 15 （素粒子、原子核、宇宙物理学） |
| 分析データ クラスタ | 37 （電磁波・光学・レーザー・光半導体） |