偏光・波面制御システムによる超微細金属ホログラフィックパターニング技術の創成

詳細情報

科研費研究課題/領域番号 23K23255 [ KAKENで見る ]
種目 基盤研究(B)
採択年度 2022
代表者氏名 小野 篤史
採択時の代表者所属 静岡大学 電子工学研究所 教授
代表者の科研費研究者番号 20435639
科研費審査区分(中区分) 30 (応用物理工学)
分析データ 推定科研費審査区分(中区分) 18 (材料力学、生産工学、設計工学)
分析データ クラスタ 27 (理化学/半導体・ナノ・材料)