偏光・波面制御システムによる超微細金属ホログラフィックパターニング技術の創成
詳細情報
科研費研究課題/領域番号 | 23K23255 [ KAKENで見る ] |
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種目 | 基盤研究(B) |
採択年度 | 2022 |
代表者氏名 | 小野 篤史 |
採択時の代表者所属 | 静岡大学 電子工学研究所 教授 |
代表者の科研費研究者番号 | 20435639 |
科研費審査区分(中区分) | 30 (応用物理工学) |
分析データ 推定科研費審査区分(中区分) | 18 (材料力学、生産工学、設計工学) |
分析データ クラスタ | 27 (理化学/半導体・ナノ・材料) |