デバイス深部に実装された結晶性ナノ粒子の特性解明に資する構造可視化技術の開発
詳細情報
| 科研費研究課題/領域番号 | 23K23244 [ KAKENで見る ] |
|---|---|
| 種目 | 基盤研究(B) |
| 採択年度 | 2022 |
| 代表者氏名 | 大和田 謙二 |
| 採択時の代表者所属 | 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 関西光量子科学研究所 放射光科学研究センター グループリーダー |
| 代表者の科研費研究者番号 | 60343935 |
| 科研費審査区分（中区分） | 30 （応用物理工学） |
| 分析データ 推定科研費審査区分（中区分） | 28 （ナノマイクロ科学） |
| 分析データ クラスタ | 54 （理化学/分子化学） |