2+1マスMEMS共振子による新たなモード制御法の研究と高性能センサーへの適用
詳細情報
| 科研費研究課題/領域番号 | 23K23192 [ KAKENで見る ] |
|---|---|
| 種目 | 基盤研究(B) |
| 採択年度 | 2022 |
| 代表者氏名 | 田中 秀治 |
| 採択時の代表者所属 | 東北大学 工学研究科 教授 |
| 代表者の科研費研究者番号 | 00312611 |
| 科研費審査区分（中区分） | 28 （ナノマイクロ科学） |
| 分析データ 推定科研費審査区分（中区分） | 20 （機械力学、ロボティクス） |
| 分析データ クラスタ | 37 （電磁波・光学・レーザー・光半導体） |