酸化物原子膜のアニオンエンジニアリングと次世代誘電体の創製

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科研費研究課題/領域番号 23K23175 [ KAKENで見る ]
種目 基盤研究(B)
採択年度 2022
代表者氏名 小林 亮
採択時の代表者所属 名古屋大学 未来材料・システム研究所 准教授
代表者の科研費研究者番号 50613395
科研費審査区分(中区分) 28 (ナノマイクロ科学)
分析データ 推定科研費審査区分(中区分) 26 (材料工学)
分析データ クラスタ 27 (理化学/半導体・ナノ・材料)