磁気力顕微鏡を応用した半導体の局所不純物濃度の非接触測定装置の開発
詳細情報
| 科研費研究課題/領域番号 | 23K22768 [ KAKENで見る ] |
|---|---|
| 種目 | 基盤研究(B) |
| 採択年度 | 2022 |
| 代表者氏名 | 若家 冨士男 |
| 採択時の代表者所属 | 大阪大学 大学院基礎工学研究科 准教授 |
| 代表者の科研費研究者番号 | 60240454 |
| 科研費審査区分（中区分） | 21 （電気電子工学） |
| 分析データ 推定科研費審査区分（中区分） | 21 （電気電子工学） |
| 分析データ クラスタ | 37 （電磁波・光学・レーザー・光半導体） |