ピエゾ抵抗型MEMS力センサの極限の追求
詳細情報
科研費研究課題/領域番号 | 23K22704 [ KAKENで見る ] |
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種目 | 基盤研究(B) |
採択年度 | 2022 |
代表者氏名 | 下山 勲 |
採択時の代表者所属 | 富山県立大学 工学部 その他 |
代表者の科研費研究者番号 | 60154332 |
科研費審査区分(中区分) | 20 (機械力学、ロボティクス) |
分析データ 推定科研費審査区分(中区分) | 21 (電気電子工学) |
分析データ クラスタ | 36 (熱・流体・波・運動エネルギー) |