ピエゾ抵抗型MEMS力センサの極限の追求

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科研費研究課題/領域番号 23K22704 [ KAKENで見る ]
種目 基盤研究(B)
採択年度 2022
代表者氏名 下山 勲
採択時の代表者所属 富山県立大学 工学部 その他
代表者の科研費研究者番号 60154332
科研費審査区分(中区分) 20 (機械力学、ロボティクス)
分析データ 推定科研費審査区分(中区分) 21 (電気電子工学)
分析データ クラスタ 36 (熱・流体・波・運動エネルギー)