ナノ成形構造体と自己組織化成膜技術の融合によるナノ構造体形状制御に関する研究

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科研費研究課題/領域番号 23K22654 [ KAKENで見る ]
種目 基盤研究(B)
採択年度 2022
代表者氏名 栗原 一真
採択時の代表者所属 国立研究開発法人産業技術総合研究所 エレクトロニクス・製造領域 研究主幹
代表者の科研費研究者番号 90392612
科研費審査区分(中区分) 18 (材料力学、生産工学、設計工学)
分析データ 推定科研費審査区分(中区分) 18 (材料力学、生産工学、設計工学)
分析データ クラスタ 27 (理化学/半導体・ナノ・材料)