クラスタービーム原子層エッチングと照射位置制御を用いた超高精度形状創成
詳細情報
| 科研費研究課題/領域番号 | 23K22649 [ KAKENで見る ] |
|---|---|
| 種目 | 基盤研究(B) |
| 採択年度 | 2022 |
| 代表者氏名 | 豊田 紀章 |
| 採択時の代表者所属 | 兵庫県立大学 工学研究科 教授 |
| 代表者の科研費研究者番号 | 00382276 |
| 科研費審査区分（中区分） | 18 （材料力学、生産工学、設計工学） |
| 分析データ 推定科研費審査区分（中区分） | 18 （材料力学、生産工学、設計工学） |
| 分析データ クラスタ | 37 （電磁波・光学・レーザー・光半導体） |