その場波面制御で自在に操る干渉定在波によるサブμm級自由微細構造の大面積露光創成

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科研費研究課題/領域番号 23K22641 [ KAKENで見る ]
種目 基盤研究(B)
採択年度 2022
代表者氏名 清水 裕樹
採択時の代表者所属 北海道大学 工学研究院 教授
代表者の科研費研究者番号 70606384
科研費審査区分(中区分) 18 (材料力学、生産工学、設計工学)
分析データ 推定科研費審査区分(中区分) 18 (材料力学、生産工学、設計工学)
分析データ クラスタ 37 (電磁波・光学・レーザー・光半導体)