気体流および液体流を用いた弱減圧マイクロ波プラズマ生成と応用
詳細情報
| 科研費研究課題/領域番号 | 23K22481 [ KAKENで見る ] |
|---|---|
| 種目 | 基盤研究(B) |
| 採択年度 | 2022 |
| 代表者氏名 | 豊田 浩孝 |
| 採択時の代表者所属 | 名古屋大学 工学研究科 教授 |
| 代表者の科研費研究者番号 | 70207653 |
| 科研費審査区分（中区分） | 14 （プラズマ学） |
| 分析データ 推定科研費審査区分（中区分） | 14 （プラズマ学） |
| 分析データ クラスタ | 36 （熱・流体・波・運動エネルギー） |