Molecular-Net技術によるSiOx超薄膜のワンステップ製膜
詳細情報
| 科研費研究課題/領域番号 | 24K17544 [ KAKENで見る ] |
|---|---|
| 種目 | 若手研究 |
| 採択年度 | 2024 |
| 代表者氏名 | 森山 教洋 |
| 採択時の代表者所属 | 広島大学 先進理工系科学研究科(工) 助教 |
| 代表者の科研費研究者番号 | 00980301 |
| 科研費審査区分（中区分） | 27 （化学工学） |
| 分析データ 推定科研費審査区分（中区分） | 27 （化学工学） |
| 分析データ クラスタ | 27 （理化学/半導体・ナノ・材料） |