ハフニア系強誘電体薄膜/電極界面の原子層スケールでの界面反応制御指針の明確化

詳細情報

科研費研究課題/領域番号 24K17304 [ KAKENで見る ]
種目 若手研究
採択年度 2024
代表者氏名 女屋 崇
採択時の代表者所属 東京大学 大学院新領域創成科学研究科 助教
代表者の科研費研究者番号 40933370
科研費審査区分(中区分) 21 (電気電子工学)
分析データ 推定科研費審査区分(中区分) 21 (電気電子工学)
分析データ クラスタ 27 (理化学/半導体・ナノ・材料)