半導体基板の絶対厚さ及び厚さむらの高精度測定を目指したハイブリッド干渉計の開発
詳細情報
| 科研費研究課題/領域番号 | 24K17189 [ KAKENで見る ] |
|---|---|
| 種目 | 若手研究 |
| 採択年度 | 2024 |
| 代表者氏名 | 川嶋 なつみ |
| 採択時の代表者所属 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 計量標準総合センター 研究員 |
| 代表者の科研費研究者番号 | 10908635 |
| 科研費審査区分（中区分） | 18 （材料力学、生産工学、設計工学） |
| 分析データ 推定科研費審査区分（中区分） | 30 （応用物理工学） |
| 分析データ クラスタ | 37 （電磁波・光学・レーザー・光半導体） |