正則化を取り入れた電子線タイコグラフィー位相回復法の開発と材料応用

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科研費研究課題/領域番号 24K15598 [ KAKENで見る ]
種目 基盤研究(C)
採択年度 2024
代表者氏名 三石 和貴
採択時の代表者所属 国立研究開発法人物質・材料研究機構 マテリアル基盤研究センター 副センター長
代表者の科研費研究者番号 40354328
科研費審査区分(中区分) 15 (素粒子、原子核、宇宙物理学)
分析データ 推定科研費審査区分(中区分) 29 (応用物理物性)
分析データ クラスタ 37 (電磁波・光学・レーザー・光半導体)