高速C60イオンビームによる有機分子薄膜のスパッタリング過程の解明
詳細情報
| 科研費研究課題/領域番号 | 24K15594 [ KAKENで見る ] |
|---|---|
| 種目 | 基盤研究(C) |
| 採択年度 | 2024 |
| 代表者氏名 | 中嶋 薫 |
| 採択時の代表者所属 | 京都大学 工学研究科 准教授 |
| 代表者の科研費研究者番号 | 80293885 |
| 科研費審査区分（中区分） | 15 （素粒子、原子核、宇宙物理学） |
| 分析データ 推定科研費審査区分（中区分） | 14 （プラズマ学） |
| 分析データ クラスタ | 27 （理化学/半導体・ナノ・材料） |