誘導結合磁化プラズマ高周波駆動による部分共鳴電子加熱増強の計算機シミュレーション
詳細情報
| 科研費研究課題/領域番号 | 24K07448 [ KAKENで見る ] |
|---|---|
| 種目 | 基盤研究(C) |
| 採択年度 | 2024 |
| 代表者氏名 | 菅原 広剛 |
| 採択時の代表者所属 | 北海道大学 情報科学研究院 准教授 |
| 代表者の科研費研究者番号 | 90241356 |
| 科研費審査区分（中区分） | 21 （電気電子工学） |
| 分析データ 推定科研費審査区分（中区分） | 14 （プラズマ学） |
| 分析データ クラスタ | 37 （電磁波・光学・レーザー・光半導体） |