超高速と高精度を両立する粗微動サーボ弁による非接触駆動エアステージの駆動制御法
詳細情報
| 科研費研究課題/領域番号 | 24K07391 [ KAKENで見る ] |
|---|---|
| 種目 | 基盤研究(C) |
| 採択年度 | 2024 |
| 代表者氏名 | 藤田 壽憲 |
| 採択時の代表者所属 | 東京電機大学 工学部 教授 |
| 代表者の科研費研究者番号 | 70242279 |
| 科研費審査区分（中区分） | 20 （機械力学、ロボティクス） |
| 分析データ 推定科研費審査区分（中区分） | 20 （機械力学、ロボティクス） |
| 分析データ クラスタ | 36 （熱・流体・波・運動エネルギー） |