超音波スクイーズ効果を利用した300mmウェハ用非接触把持・回転装置に関する研究
詳細情報
| 科研費研究課題/領域番号 | 24K07293 [ KAKENで見る ] |
|---|---|
| 種目 | 基盤研究(C) |
| 採択年度 | 2024 |
| 代表者氏名 | 宮武 正明 |
| 採択時の代表者所属 | 東京理科大学 工学部機械工学科 教授 |
| 代表者の科研費研究者番号 | 70434032 |
| 科研費審査区分（中区分） | 18 （材料力学、生産工学、設計工学） |
| 分析データ 推定科研費審査区分（中区分） | 18 （材料力学、生産工学、設計工学） |
| 分析データ クラスタ | 36 （熱・流体・波・運動エネルギー） |