ワイヤアークAMにおけるスパッタ発生機構の解明と品質保証のための条件設定指針の構築
詳細情報
| 科研費研究課題/領域番号 | 24K07252 [ KAKENで見る ] |
|---|---|
| 種目 | 基盤研究(C) |
| 採択年度 | 2024 |
| 代表者氏名 | 山口 貢 |
| 採択時の代表者所属 | 金沢大学 設計製造技術研究所 助教 |
| 代表者の科研費研究者番号 | 50800877 |
| 科研費審査区分（中区分） | 18 （材料力学、生産工学、設計工学） |
| 分析データ 推定科研費審査区分（中区分） | 18 （材料力学、生産工学、設計工学） |
| 分析データ クラスタ | 40 （材料工学） |