イオン照射表面における原子状ラジカル反応機構の定量解析と学理構築

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科研費研究課題/領域番号 24K07007 [ KAKENで見る ]
種目 基盤研究(C)
採択年度 2024
代表者氏名 竹田 圭吾
採択時の代表者所属 名城大学 理工学部 教授
代表者の科研費研究者番号 00377863
科研費審査区分(中区分) 14 (プラズマ学)
分析データ 推定科研費審査区分(中区分) 14 (プラズマ学)
分析データ クラスタ 11 (理化学/エネルギー・脱炭素)