裏面照射光電子放出励起放電によるプラズマの生成と特性の評価
詳細情報
| 科研費研究課題/領域番号 | 24K07006 [ KAKENで見る ] |
|---|---|
| 種目 | 基盤研究(C) |
| 採択年度 | 2024 |
| 代表者氏名 | 八田 章光 |
| 採択時の代表者所属 | 高知工科大学 システム工学群 教授 |
| 代表者の科研費研究者番号 | 50243184 |
| 科研費審査区分（中区分） | 14 （プラズマ学） |
| 分析データ 推定科研費審査区分（中区分） | 14 （プラズマ学） |
| 分析データ クラスタ | 27 （理化学/半導体・ナノ・材料） |