難溶解性SiCの酸分解工程ハイスループット化による高効率化手法の開発

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科研費研究課題/領域番号 24H02579 [ KAKENで見る ]
種目 奨励研究
採択年度 2024
代表者氏名 中野 陽子
採択時の代表者所属 東北大学 技術専門職員
代表者の科研費研究者番号 -
科研費審査区分(中区分) -
分析データ 推定科研費審査区分(中区分) 31 (原子力工学、地球資源工学、エネルギー学)
分析データ クラスタ 11 (理化学/エネルギー・脱炭素)