汎用SEMとステンシルマスクを用いた近接転写による簡易電子線リソグラフィ法の開発
詳細情報
| 科研費研究課題/領域番号 | 24H02574 [ KAKENで見る ] |
|---|---|
| 種目 | 奨励研究 |
| 採択年度 | 2024 |
| 代表者氏名 | 佐藤 美那 |
| 採択時の代表者所属 | 東京工業大学 技術職員 |
| 代表者の科研費研究者番号 | - |
| 科研費審査区分（中区分） | - |
| 分析データ 推定科研費審査区分（中区分） | 18 （材料力学、生産工学、設計工学） |
| 分析データ クラスタ | 27 （理化学/半導体・ナノ・材料） |