UV光照射によるネガ型レジストの電子ビーム露光での感度向上
詳細情報
| 科研費研究課題/領域番号 | 24H02555 [ KAKENで見る ] |
|---|---|
| 種目 | 奨励研究 |
| 採択年度 | 2024 |
| 代表者氏名 | 田村 茂雄 |
| 採択時の代表者所属 | 東京工業大学 技術支援員 |
| 代表者の科研費研究者番号 | - |
| 科研費審査区分（中区分） | - |
| 分析データ 推定科研費審査区分（中区分） | 28 （ナノマイクロ科学） |
| 分析データ クラスタ | 27 （理化学/半導体・ナノ・材料） |
| 科研費研究課題/領域番号 | 24H02555 [ KAKENで見る ] |
|---|---|
| 種目 | 奨励研究 |
| 採択年度 | 2024 |
| 代表者氏名 | 田村 茂雄 |
| 採択時の代表者所属 | 東京工業大学 技術支援員 |
| 代表者の科研費研究者番号 | - |
| 科研費審査区分（中区分） | - |
| 分析データ 推定科研費審査区分（中区分） | 28 （ナノマイクロ科学） |
| 分析データ クラスタ | 27 （理化学/半導体・ナノ・材料） |