異種材料接合の表面処理における固体ソースH2Oプラズマ分布均一化のための改良
詳細情報
| 科研費研究課題/領域番号 | 24H02547 [ KAKENで見る ] |
|---|---|
| 種目 | 奨励研究 |
| 採択年度 | 2024 |
| 代表者氏名 | 遠西 美重 |
| 採択時の代表者所属 | 東京工業大学 技術職員 |
| 代表者の科研費研究者番号 | - |
| 科研費審査区分（中区分） | - |
| 分析データ 推定科研費審査区分（中区分） | 14 （プラズマ学） |
| 分析データ クラスタ | 27 （理化学/半導体・ナノ・材料） |
| 科研費研究課題/領域番号 | 24H02547 [ KAKENで見る ] |
|---|---|
| 種目 | 奨励研究 |
| 採択年度 | 2024 |
| 代表者氏名 | 遠西 美重 |
| 採択時の代表者所属 | 東京工業大学 技術職員 |
| 代表者の科研費研究者番号 | - |
| 科研費審査区分（中区分） | - |
| 分析データ 推定科研費審査区分（中区分） | 14 （プラズマ学） |
| 分析データ クラスタ | 27 （理化学/半導体・ナノ・材料） |