電離放射線用金属含有レジストの反応機構の解明
詳細情報
| 科研費研究課題/領域番号 | 24H00443 [ KAKENで見る ] |
|---|---|
| 種目 | 基盤研究(A) |
| 採択年度 | 2024 |
| 代表者氏名 | 古澤 孝弘 |
| 採択時の代表者所属 | 大阪大学 産業科学研究所 教授 |
| 代表者の科研費研究者番号 | 20251374 |
| 科研費審査区分（中区分） | 31 （原子力工学、地球資源工学、エネルギー学） |
| 分析データ 推定科研費審査区分（中区分） | 63 （環境解析評価） |
| 分析データ クラスタ | 37 （電磁波・光学・レーザー・光半導体） |