10nm解像・極紫外(EUV)顕微鏡を実現するLayer by layerエッチング波面制御法の開発
詳細情報
| 科研費研究課題/領域番号 | 24H00434 [ KAKENで見る ] |
|---|---|
| 種目 | 基盤研究(A) |
| 採択年度 | 2024 |
| 代表者氏名 | 豊田 光紀 |
| 採択時の代表者所属 | 東京工芸大学 工学部 教授 |
| 代表者の科研費研究者番号 | 40375168 |
| 科研費審査区分（中区分） | 30 （応用物理工学） |
| 分析データ 推定科研費審査区分（中区分） | 30 （応用物理工学） |
| 分析データ クラスタ | 37 （電磁波・光学・レーザー・光半導体） |