半導体化学気相成長の科学

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科研費研究課題/領域番号 24H00432 [ KAKENで見る ]
種目 基盤研究(A)
採択年度 2024
代表者氏名 寒川 義裕
採択時の代表者所属 九州大学 応用力学研究所 教授
代表者の科研費研究者番号 90327320
科研費審査区分(中区分) 30 (応用物理工学)
分析データ 推定科研費審査区分(中区分) 14 (プラズマ学)
分析データ クラスタ 27 (理化学/半導体・ナノ・材料)