超高アスペクト比ポリマー構造体へのALDコーティング技術
詳細情報
| 科研費研究課題/領域番号 | 23K19176 [ KAKENで見る ] |
|---|---|
| 種目 | 研究活動スタート支援 |
| 採択年度 | 2023 |
| 代表者氏名 | 山口 潤 |
| 採択時の代表者所属 | 東京大学 大学院工学系研究科(工学部) 特任研究員 |
| 代表者の科研費研究者番号 | 50985661 |
| 科研費審査区分（中区分） | - |
| 分析データ 推定科研費審査区分（中区分） | 27 （化学工学） |
| 分析データ クラスタ | 27 （理化学/半導体・ナノ・材料） |