ビームロッキング電子顕微分光による界面偏析したドーパント周辺環境の解明

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科研費研究課題/領域番号 23K17816 [ KAKENで見る ]
種目 挑戦的研究(萌芽)
採択年度 2023
代表者氏名 大塚 真弘
採択時の代表者所属 名古屋大学 未来材料・システム研究所 講師
代表者の科研費研究者番号 60646529
科研費審査区分(中区分) 26 (材料工学)
分析データ 推定科研費審査区分(中区分) 26 (材料工学)
分析データ クラスタ 27 (理化学/半導体・ナノ・材料)