二次元材料プラズマ支援原子層堆積におけるプラズマ表面相互作用
詳細情報
| 科研費研究課題/領域番号 | 23KF0049 [ KAKENで見る ] |
|---|---|
| 種目 | 特別研究員奨励費 |
| 採択年度 | 2023 |
| 代表者氏名 | 浜口 智志 |
| 採択時の代表者所属 | 大阪大学 大学院工学研究科 教授 |
| 代表者の科研費研究者番号 | 60301826 |
| 科研費審査区分（中区分） | 14 （プラズマ学） |
| 分析データ 推定科研費審査区分（中区分） | 14 （プラズマ学） |
| 分析データ クラスタ | 27 （理化学/半導体・ナノ・材料） |