光相関イメージングを用いた欠陥発生要因を分析可能な広域サブナノ欠陥検査法の確立
詳細情報
| 科研費研究課題/領域番号 | 23KJ1439 [ KAKENで見る ] |
|---|---|
| 種目 | 特別研究員奨励費 |
| 採択年度 | 2023 |
| 代表者氏名 | 片岡 将磨 |
| 採択時の代表者所属 | 大阪大学 工学研究科 特別研究員(DC2) |
| 代表者の科研費研究者番号 | - |
| 科研費審査区分（中区分） | 18 （材料力学、生産工学、設計工学） |
| 分析データ 推定科研費審査区分（中区分） | 21 （電気電子工学） |
| 分析データ クラスタ | 37 （電磁波・光学・レーザー・光半導体） |