ALD法による多元系金属酸化物半導体の形成および高性能三次元素子の作製
詳細情報
| 科研費研究課題/領域番号 | 23KJ1590 [ KAKENで見る ] |
|---|---|
| 種目 | 特別研究員奨励費 |
| 採択年度 | 2023 |
| 代表者氏名 | 川戸 勇人 |
| 採択時の代表者所属 | 奈良先端科学技術大学院大学 先端科学技術研究科 特別研究員(DC1) |
| 代表者の科研費研究者番号 | - |
| 科研費審査区分（中区分） | 21 （電気電子工学） |
| 分析データ 推定科研費審査区分（中区分） | 21 （電気電子工学） |
| 分析データ クラスタ | 27 （理化学/半導体・ナノ・材料） |