ラジカル励起室温原子層堆積による超格子成長機構研究
詳細情報
| 科研費研究課題/領域番号 | 23H00098 [ KAKENで見る ] |
|---|---|
| 種目 | 基盤研究(A) |
| 採択年度 | 2023 |
| 代表者氏名 | 廣瀬 文彦 |
| 採択時の代表者所属 | 山形大学 大学院理工学研究科 教授 |
| 代表者の科研費研究者番号 | 50372339 |
| 科研費審査区分（中区分） | 14 （プラズマ学） |
| 分析データ 推定科研費審査区分（中区分） | 29 （応用物理物性） |
| 分析データ クラスタ | 27 （理化学/半導体・ナノ・材料） |