誘導ラマン散乱を用いたワイドギャップ半導体のその場3次元計測
詳細情報
| 科研費研究課題/領域番号 | 23H00271 [ KAKENで見る ] |
|---|---|
| 種目 | 基盤研究(A) |
| 採択年度 | 2023 |
| 代表者氏名 | 小関 泰之 |
| 採択時の代表者所属 | 東京大学 先端科学技術研究センター 教授 |
| 代表者の科研費研究者番号 | 60437374 |
| 科研費審査区分（中区分） | 30 （応用物理工学） |
| 分析データ 推定科研費審査区分（中区分） | 30 （応用物理工学） |
| 分析データ クラスタ | 37 （電磁波・光学・レーザー・光半導体） |