非晶質領域の局所構造計測に基づくMOS界面制御

詳細情報

科研費研究課題/領域番号 23H04113 [ KAKENで見る ]
種目 学術変革領域研究(A)
採択年度 2023
代表者氏名 上沼 睦典
採択時の代表者所属 国立研究開発法人産業技術総合研究所 エレクトロニクス・製造領域 主任研究員
代表者の科研費研究者番号 20549092
科研費審査区分(中区分) -
分析データ 推定科研費審査区分(中区分) 26 (材料工学)
分析データ クラスタ 27 (理化学/半導体・ナノ・材料)