シリコン表面上の原子トラップ機構の解明と探索

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科研費研究課題/領域番号 23K03270 [ KAKENで見る ]
種目 基盤研究(C)
採択年度 2023
代表者氏名 須藤 彰三
採択時の代表者所属 東北大学 高度教養教育・学生支援機構 特定教授
代表者の科研費研究者番号 40171277
科研費審査区分(中区分) 13 (物性物理学)
分析データ 推定科研費審査区分(中区分) 29 (応用物理物性)
分析データ クラスタ 27 (理化学/半導体・ナノ・材料)