グリーンプラズマエッチングに向けた高アスペクト比孔内の活性種輸送特性の実験的解明
詳細情報
| 科研費研究課題/領域番号 | 23K03367 [ KAKENで見る ] |
|---|---|
| 種目 | 基盤研究(C) |
| 採択年度 | 2023 |
| 代表者氏名 | 堤 隆嘉 |
| 採択時の代表者所属 | 名古屋大学 低温プラズマ科学研究センター 講師 |
| 代表者の科研費研究者番号 | 50756137 |
| 科研費審査区分（中区分） | 14 （プラズマ学） |
| 分析データ 推定科研費審査区分（中区分） | 19 （流体工学、熱工学） |
| 分析データ クラスタ | 27 （理化学/半導体・ナノ・材料） |